ESPECIFICACIÓN
TOB-DSP-1200 P -PECVDS Horno de tubo de vacío de tipo torneado | ||
Poder | 3.5KW | |
Tamaño del tubo del horno (mm) | Dia 60 (OD) X1200mm | |
Dimensión | 1300X420X1200 | |
Tensión de alimentación | 220V | |
Número de fase | Fase única | |
Modo de control de temperatura | Control de temperatura Yudian 30 secciones solo pueden usar la regulación de temperatura PID. Control de temperatura FP93 (desde Japón) (Reemplazar los instrumentos importados, por una tarifa adicional) El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en 4,2,1 programas grupales, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10, Control de PID de 2,6 grupos, baja, media y alta temperatura cada uno con un conjunto de PID, De tal manera que cada segmento es capaz de controlar la temperatura es muy preciso. | |
Desencadenar | Desencadenante de cambio de fase | |
SCR | 106 / 16E Alemania Simon Kang | |
Temperatura maxima | 1200 ℃ | |
Temperatura nominal | 1100 ℃ | |
Velocidad de calentamiento | ≤30 ℃ / Min (Disponible a petición de modificación) | |
Precisión de control | +/- 1 ℃ | |
Velocidad de calentamiento recomendada | ≤15 ℃ / min | |
Longitud de calentamiento | 400mm | |
Tipo de termopar | Tipo K | |
Proceso de dar un título | CE | |
Temperatura de la superficie circundante | ≤45 ℃ | |
Girar la potencia del motor | 40W | |
Potencia del putter electrico | 40W | |
El horno puede ser inclinado | -10 ~ 30 grados | |
Tasa de rotación del tubo | La velocidad del motor continuamente variable se puede ajustar en 1-25 rev / min | |
Potencia de RF de plasma | Rango de potencia de salida | 0-500W |
Potencia máxima reflejada | 10W | |
Frecuencia de la señal | 13.56MHZ ± 0.005% | |
ruido | <30> | |
Aire acondicionado | método de enfriamiento | |
Potencia de entrada | 208-240V 50 / 60HZ | |
Sistema de suministro GX parámetros principales | Rango estándar | Controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (puedes elegir cualquier escala) |
Exactitud | ± 1.5% | |
Caída de presión | <> | |
Repetibilidad | ± 0.2% FS | |
Max Presión operacional | 3MP | |
Sistema de escape VS-0.1 | fuente de alimentación | 220V / 380V 380W |
Tasa de bombeo | 2L / S | |
Medidor de vacío de resistencia | ZDR-I | |
Rango de medición de vacío | 0.1-10 5 Pa | |
Bomba aspiradora | VRD-8 | |
Tubo corrugado | KF25X1000mm | |
Sistema de vacío | 10 -1Pa | |
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