ESPECIFICACIÓN
Modelo | TOB-DSP-1200 -PECVD-I | TOB-DSP-1200 -PECVD-II | TOB-DSP-1200 -PECVD-III | TOB-DSP-1200 -PECVD-IV | |
Poder | 3KW | 3KW | 4KW | 4KW | |
Tamaño del tubo del horno (mm) | Dia 60 (OD) X1800mm | Dia 80 (OD) X1800mm | Dia 100 (OD) X1800mm | Dia 120 (OD) X1800mm | |
Dimensión | 1800X410X610 | 1800X410X610 | 1800X460X660 | 1800X460X660 | |
Tensión de alimentación | 220V | ||||
Número de fase | Fase única | ||||
Modo de control | Control de temperatura Yudian 30 secciones solo pueden usar la regulación de temperatura PID. Control de temperatura FP93 (desde Japón) (Reemplazar los instrumentos importados, por una tarifa adicional) El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en 4,2,1 programas grupales, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10, El control PID de 2,6 grupos, baja, media y alta temperatura puede cada uno con un conjunto de PID, de modo que cada segmento es capaz de controlar la temperatura es muy precisa. | ||||
Modo de control de temperatura | PID inteligente | ||||
Protección contra quemaduras y pantalla |
Sí | ||||
Protección de sobrecalentamiento | Sí | ||||
Protección contra la sobretensión | Sí | ||||
Precisión de control | +/- 1 ℃ | ||||
Desencadenar | Desencadenante de cambio de fase | ||||
SCR | 106 / 16E Alemania Simon Kang | ||||
La temperatura máxima de la zona de temperatura 1.2. | 1200 ℃ | ||||
La zona de temperatura 1.2 Temperatura nominal | 1150 ℃ | ||||
Velocidad de calentamiento | ≤30 ℃ / Min (Disponible a petición de modificación) | ||||
Velocidad de calentamiento recomendada | ≤15 ℃ / min | ||||
Tipo de termopar | Tipo K | ||||
La longitud de calentamiento de la zona de temperatura 1.2 | 205 mm | ||||
Temperatura de la superficie circundante | ≤45 ℃ | ||||
Potencia de RF de plasma | Rango de potencia de salida | 0-500W | |||
Potencia máxima reflejada | 10W | ||||
Frecuencia de la señal | 13.56MHZ ± 0.005% | ||||
ruido | <30> | ||||
Aire acondicionado | método de enfriamiento | ||||
Potencia de entrada | 208-240V 50 / 60HZ | ||||
Parámetros principales del sistema de alimentación GX | Rango estándar | Controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (puedes elegir cualquier escala) | |||
Exactitud | ± 1.5% | ||||
Caída de presión | <> | ||||
Repetibilidad | ± 0.2% FS | ||||
Max Presión operacional | 3MP | ||||
Sistema de escape VS-0.1 | fuente de alimentación | 220V / 380V 380W | |||
Tasa de bombeo | 2L / S | ||||
Medidor de vacío de resistencia | ZDR-I | ||||
Rango de medición de vacío | 0.1-10 5 Pa | ||||
Bomba aspiradora | VRD-8 | ||||
Tubo corrugado | KF25X1000mm | ||||
Sistema de vacío | 10 -1Pa | ||||
Proporcionar una solución integral para la fabricación de baterías de iones de litio
