Horno PECVD

Horno PECVD

1.Tipo: 1200 System Sistema PECVD de zona dual tipo deslizador
Número 2.Phase: monofásico
3. Tipo de termopar: tipo K
4.Modelo: TOB-DSP-1200 ℃ -PECVD
5.MOQ: 1set

Detalles

Sistema PECVD de doble zona tipo deslizador de 1200

PECVD Furnace

PECVD Furnace

ESPECIFICACIÓN


Modelo

TOB-DSP-1200

-PECVD-I

TOB-DSP-1200

-PECVD-II

TOB-DSP-1200

-PECVD-III

TOB-DSP-1200

-PECVD-IV

Poder

3KW

3KW

4KW

4KW

Tamaño del tubo del horno (mm)

Dia 60 (OD) X1800mm

Dia 80 (OD) X1800mm

Dia 100 (OD) X1800mm

Dia 120 (OD) X1800mm

Dimensión

1800X410X610

1800X410X610

1800X460X660

1800X460X660

Tensión de alimentación

220V

Número de fase

Fase única

Modo de control

Control de temperatura Yudian

30 secciones solo pueden usar la regulación de temperatura PID.

Control de temperatura FP93 (desde Japón)

(Reemplazar los instrumentos importados, por una tarifa adicional)

El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en 4,2,1 programas grupales, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10,

El control PID de 2,6 grupos, baja, media y alta temperatura puede cada uno con un conjunto de PID, de modo que cada segmento es capaz de controlar la temperatura es muy precisa.

Modo de control de temperatura

PID inteligente

Protección contra quemaduras y pantalla

 

Protección de sobrecalentamiento

Protección contra la sobretensión

Precisión de control

+/- 1 ℃

Desencadenar

Desencadenante de cambio de fase

SCR

106 / 16E Alemania Simon Kang

La temperatura máxima de la zona de temperatura 1.2.

1200 ℃

La zona de temperatura 1.2

Temperatura nominal

1150 ℃

Velocidad de calentamiento

≤30 ℃ / Min (Disponible a petición de modificación)

Velocidad de calentamiento recomendada

≤15 ℃ / min

Tipo de termopar

Tipo K

La longitud de calentamiento de la zona de temperatura 1.2

205 mm

Temperatura de la superficie circundante

≤45 ℃

Potencia de RF de plasma

Rango de potencia de salida

0-500W

Potencia máxima reflejada

10W

Frecuencia de la señal

13.56MHZ ± 0.005%

ruido

<30>

Aire acondicionado

método de enfriamiento

Potencia de entrada

208-240V 50 / 60HZ

Parámetros principales del sistema de alimentación GX

Rango estándar

Controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM

(puedes elegir cualquier escala)

Exactitud

± 1.5%

Caída de presión

<>

Repetibilidad

± 0.2% FS

Max

Presión operacional

3MP

Sistema de escape VS-0.1

fuente de alimentación

220V / 380V 380W

Tasa de bombeo

2L / S

Medidor de vacío de resistencia

ZDR-I

Rango de medición de vacío

0.1-10 5 Pa

Bomba aspiradora

VRD-8

Tubo corrugado

KF25X1000mm

Sistema de vacío

10 -1Pa



Tube Furnace

PECVD Furnace

PECVD Furnace





Proporcionar una solución integral para la fabricación de baterías de iones de litio

Coating Electrode


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